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硅中δ掺杂的新进展

  • 摘要: 掺杂Si材料是一种新型半导体材料,它是利用杂质工程和能带工程的结合来调节半导体的性质的。它的许多物理性质为低维半导体系统的研究开辟了一个新领域,同时正是这些物理特性使得该材料在硅基光电子器件、电子器件研制中具有广阔的应用前景.文章介绍了硅中掺杂方面的研究新进展.

     

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