摘要: 微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）是制备金刚石膜的一个重要方法，能制备出表面光滑平整的大面积均匀金刚石膜。文章概述了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜的情况，介绍了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置的典型类型及其特点。在国内研制成功天线耦合石英钟罩式ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置，并在硅片上沉积出大面积均匀的优质金刚石膜。这种ＭＰＣＶＤ装置对金刚石膜的开发应用具有重要意义。