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透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用

    摘要
  • 摘要: 阐述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜的气敏特性及其导电扩散阻挡作用，对ＩＴＯ气敏薄膜及扩散阻挡层薄膜的制备过程、测试方法和应用进行了研究讨论．

     

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