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新颖的激光清洗技术

  • 摘要: 利用激光来清除各种器件及材料表面上吸附的各种微粒及污染物,是近年来激光技术应用的一个迅速发展的方向.文章概述了激光清洗技术的最新发展,介绍了激光清洗技术的基本工艺过程及物理机制,讨论了其应用及发展方向等有关问题.

     

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