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纳米硅薄膜的量子特征及其应用前景

  • 摘要: 文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究,从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征,并由此提出其电输运机制及其可见发光机理.最后,综合纳米硅薄膜的各种新颖物性,展望了其在纳米电子学和MEMS(微机电系统)领域内的应用前景.

     

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