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铁电薄膜、多层膜及异质结构研究

    摘要
  • 摘要: 综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展，分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点．重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电红外探测器方面的应用．指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要重点解决的一些问题

     

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