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螺旋波激发等离子体源的原理和应用

    摘要
  • 摘要: 介绍了一种低气压、高密度等离子体源———螺旋波激发等离子体源（ＨＷＰ），讲述了它的结构位形、天线耦合原理和参数设计原则，该离子源在实际中的应用以及目前研究状况．

     

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