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软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展

    摘要
  • 摘要: 对目前的几种软Ｘ射线光学元件的性能作了简要的阐述和分析．综合介绍了多层膜作为软Ｘ射线光学元件的新进展．同时对多层膜光栅这种新型软Ｘ射线光学元件的原理、性能、制作工艺进行了详细的说明

     

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