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GaAs表面硫钝化研究新进展

    摘要
  • 摘要: GaAs及其他Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们感兴趣的研究课题,在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用,文章着重从钝化方法和钝化机理两方面简单地回顾了近年来GaAs表面硫钝化的最新研究进展

     

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