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纳米结构的制备及单电子器件研究

    摘要
  • 摘要: 建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统,研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术,制备了适合光电集成的多种纳米结构,发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中,在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.

     

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