摘要: 力调制显微术被用于观测铜基碳化硅样品,实验中发现在样品表面台阶边缘处出现一些异常信息.为此,文章作者通过测试一种表面同样有台阶但却是由同一种材料组成的样品来验证这些异常主要是由台阶的边界引起的,并对引起的异常作了半定量的估算