高分辨的弹性反冲探测分析技术
-
摘要: 在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术.用高质量的127I重离子束轰击薄膜或块材靶样品,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE-E望远镜探测器两套探测系统,在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱.利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领,将能谱转换成元素的深度分布.利用Q3D磁谱仪系统,对C和H等轻元素的分析得到纳米级的深度分辨谱.用ΔE-E望远镜探测器可同时得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布,其深度分辨率达20—30nm.
下载: