微电子机械系统加工新方法——LIGA技术

Introduction to liga technology

摘要: 简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状.

Abstract: After an introduction to the background of MEMS we review the principle of LIGA and related technology. The technical requirements of synchrotron radiation lithography are given. The R&D status of MEMS using LIGA is introduced.